高效的 AMHS 解决方案
它实现半导体晶圆厂搬运与存储的自动化，确保 FOUP 精准搬运，
优化空间利用，并以无缝的系统集成保障稳定高效的运行。
OHT（天车搬运系统）
这套空中自动化搬运系统负责半导体制程中 FOUP 的自动转运，
通过半导体设备通用的 E84 标准通信协议与 Stocker／设备无缝对接，
并符合 SEMI 标准，确保与上层系统顺畅的数据交互。
系统采用非接触供电以满足洁净室要求，
达到 Class 100 洁净等级标准。
Lifter
Lifter（提升机）在半导体生产中承担不同楼层之间硅片的转运任务，
借助先进的自动化技术，实现快速、精准、高效的作业，大幅减少对人力的依赖并降低制程中的失误。Lifter 可与输送线、存储系统等其他 AMHS 设备无缝集成，构成全自动物流网络；由中央控制系统统一调度这些集成，实现产线的高度自动化。作为现代半导体制造不可或缺的一环，AMHS Lifter 带来更高的效率、可靠性与生产品质。
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